磁控鍍膜機主要運用到哪些地方呢?
2020-04-20 來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:683
磁控鍍膜機主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體制備等實驗研究與應用。磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。專業磁控濺射生產但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態和非平衡磁控陰極。鞍山專業磁控濺射生產平衡態磁控陰極內外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電
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