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      真空電子束蒸發鍍膜機?介紹

      2017-12-26  來自: 肇慶高要區恒譽真空技術有限公司 瀏覽次數:1002

        VZS-500/VZS-600 高真空電子束蒸發鍍膜機采用完全封閉的系統框架,結構緊湊,外觀更漂亮,使用更安全。6-10KW e型電子槍可選國產或進口,可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。該設備廣泛應用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物(ITO等氧化物)/導電薄膜/光學薄膜等。

        主要特點/優勢:

        完全封閉的系統框架設計,外觀更漂亮,使用更安全;是一臺兼具美學和用戶操控體驗的全新升級產品;

        前開門真空腔體,方便取放基片、添加蒸發材料以及真空室的日常維護;

        1200L/s或1600 L/s分子泵作為主抽泵,真空極限高達5×10-5Pa(3.75×10-7Torr);另可選進口磁懸浮分子泵或者低溫泵作為主抽泵,真空極限高達3×10-6Pa(2×10-8Torr);

        6~10KW e型電子槍,4-8穴坩堝可選;

        最大180mm基片/15~25mm ITO/FTO玻璃30片/拱形或半球形樣品架,可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;基片臺公轉,轉速0~25rpm連續可調;平板基底襯底可選擇加熱或水冷;

        更優的薄膜均勻性和重復性,采用進口膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚;

        可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有機物材料(進口電子槍);


      關鍵詞: 蒸發鍍膜機           

      肇慶市高要區恒譽真空技術有限公司主要產品有:手機鍍膜機,光學鍍膜機,塑料鍍鋁機,PVD鍍膜機,光學鏡片鍍膜機,鈦金爐,多弧鍍膜機,pvd真空電鍍,離子鍍膜機,鍍鈦機,陶瓷鍍膜機,濺射鍍膜機,卷繞鍍膜機,真空鍍膜機,鍍膜機,離子鍍,真空電鍍機,真空鍍膜設備等系列。


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